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MEMS(微納機電系統(tǒng))和風淋室

    據(jù)了解,在位于蘇州工業(yè)園區(qū)金雞湖大道的蘇州奈米城內(nèi)，國內(nèi)首個市場化運作、全開放的 MEMS 中試平臺已漸露雛形，目前該中試平臺設(shè)備調(diào)試工作正在緊張有序進行中，8月將試運行，未來它將開展微納機電共性技術(shù)和標準工藝的研發(fā)，提供中試加工、檢測分析、設(shè)備租賃和代工技術(shù)轉(zhuǎn)移等服務(wù)。那么MEMS(微納機電系統(tǒng))又和風淋室有什么關(guān)系呢?

    Fenglins應(yīng)邀來到了近千平米的潔凈室,此房間便是微機電制造的“主戰(zhàn)場”，按照工藝流程分為“光刻區(qū)”、“蝕刻區(qū)”、“薄膜區(qū)”、“擴散區(qū)”、“注入?yún)^(qū)”和“封裝測試區(qū)”。在MEMS中試平臺相關(guān)負責人的帶領(lǐng)下，穿梭在160多套頂尖的制造機臺間，“高大上”的氣息撲面而來。“微納機電制造與傳統(tǒng)的積體電路不同，除讓硅片長膜，再蝕刻出擁有不同功能的相應(yīng)‘圖案’外，它更注重立體結(jié)構(gòu)的搭建。”

整個MEMS中試平臺的潔凈度等級分為四種，分別是class10、100、1000、10000，潔凈程度最嚴苛的是光刻區(qū)，按照標準，即使是肉眼看不見的灰塵，一立方米的空氣中最多只能存在幾粒。MEMS中試平臺的專業(yè)還體現(xiàn)在對環(huán)境的苛刻要求，溫度要時刻保持23度，上下幅度不能超過1度，濕度要在45%，上下幅度不能超過5%。進入該平臺的“心臟”--超凈間之前，所有人員必須換上全套的防塵服，手套、口罩自然也是必要裝備。可別以為這樣就能輕松進入了，身份登記和隨身物品清洗后，你還要通過風淋室里的12個風淋嘴進行至少10秒鐘的吹風清潔，以確保拂去塵土。

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